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ISSN1001-3806CN51-1125/TN 网站地图

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变结构反应离子刻蚀腔室流场热场的数值仿真
张景文, 范斌, 李志炜, 汉语
2020, 44(1): 136-142. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2020.01.024
关键词: 光学制造, 反应离子刻蚀, 变结构腔室, 流热场分布, 滑移区稀薄气体, 数值模拟